客户要求：
1：行程、尺寸设限
2：定位精度、真值度（垂直·水平）要求设定
上海荔赢成果：
1：重复定位精度：±2μm
2：定位时间：400msec
3：真值度（垂直·水平）
X轴：±1.5μm、 ±1.5μm
Y轴： ±2μm 、 ±1μm
4：速度稳定性 ：±0.2%（35 mm/sec时）
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