晶圆检测XY平台案例

网站首页  ꄲ  典型应用案例分享  ꄲ  晶圆检测XY平台案例

客户要求：

负载60kg，高加速度，平台运行稳定

 

上海荔赢成果：

双驱结构，大理石平台。

1：定位精度：±5μm

2：重复定位精度：±1μm

3：最高速度：360mm/s

2021年4月8日 11:37
ꄘ浏览量：0
ꂃ上一篇： 无
ꁹ下一篇： 无